九月十二號,上海,中芯國際的一條十二英寸驗證線上,跑完了一批特殊的片子。
這批片子用的光刻膠,不是日本貨,不是美國貨,是國產的ArF浸沒式光刻膠。南大光電產線上下來的第一批工程樣品,配方出自朝陽研究院的光刻膠實驗室。
這個實驗室成立才半年。半年前,江陽在白板上畫了三個圈,光學、光刻膠、計算光刻,說一個一個來。現在第一個圈破了,第二個圈,也捅出了窟窿。
光刻膠這東西,外行聽著像膠水,實際上是半導體產業裡最難啃的材料之一。成膜樹脂、光酸發生劑、溶劑、新增劑,四樣東西配在一起,金屬雜質要壓到十億分之一以下,批次之間的差異要小到儀器都快測不出來。
最難的是那個不可能三角。靈敏度、解析度、線邊粗糙度,三個指標互相打架,按住葫蘆起了瓢。日本人在這個領域熬了四十年,熬出了JSR、東京應化、信越化學,把全球高階光刻膠九成以上的份額攥在手裡,攥得死死的。
江陽的解法簡單粗暴。光酸發生劑的分子結構,讓山河模型去算。三十萬種候選結構,模型跑了一個星期,篩出來十七種。實驗室再逐個合成、測試、淘汰,最後活下來的,是兩種。
今天,驗證報告出來了。線寬粗糙度,達標。缺陷密度,達標。靈敏度,達標。連中芯最挑剔的良率工程師都挑不出毛病,報告的結論欄寫了一行字:綜合性能與進口同類產品相當,部分指標優於對照組。
報告傳回研究院的時候,光刻膠實驗室裡炸了鍋。幾個年輕的研究員抱著報告又蹦又跳,帶隊的老師傅反而很平靜,從櫃子裡摸出一瓶存了半年的酒,一人倒了一瓶蓋。
“別高興太早。”老師傅說,“透過驗證,只是拿到了上桌的資格。能不能坐穩,還得看產能,看批次,看良率爬坡。”
話是這麼說,他自己那瓶蓋酒,喝得一滴都沒剩。
周總工拿著這份報告,手都在抖,當天就從上海飛了過來,進門第一句話:
“江陽,發公告吧!開新聞釋出會,全球直播!我要親眼看著東京應化的股價跳水!”
江陽正在泡茶,聞言搖頭。
“不發。”
“為什麼?”周總工急了,“咱們熬了這麼久,不就等這一天嗎?”
“老周,我問你。”江陽把茶杯推給他,“南大那邊,現在一個月能產多少噸?”
周總工卡住了。產線剛改造完,產能爬坡,一個月撐死幾噸,還不夠中芯一條線塞牙縫的。
“對嘛。”江陽說,“你現在開新聞釋出會,牛皮吹出去,明天對手就做兩件事。第一,把你還沒突破的那些材料,全部拉上禁運清單。第二,光刻膠價格直接砍到腳脖子,用傾銷把你這點剛冒頭的產能淹死在搖籃裡。咱們的苗還沒長高,經不起這兩板斧。”
“那就這麼憋著?”老頭子不甘心。
“不憋。”江陽笑了,“擠牙膏。”
“擠牙膏?”
“今天擠一點,明天擠一點。”江陽說,“不發公告,讓訊息自己長腿跑出去。他們猜到我們在做,又拿不準我們做到了哪一步,每天都得琢磨,每天都睡不踏實。這個,比一次炸個響的折磨人。”
周總工琢磨了半天,一拍大腿。
“你這是鈍刀子割肉。”
“哎。”江陽點頭,“這個詞好。”
“可我還是想問一句。”周總工端著茶杯,“明明能一巴掌拍死,為什麼非要這麼磨?”
“因為這張牌現在還在他們手裡。”江陽說,“光刻膠是日本手裡最後一張牌了。你一下子把它打成廢紙,他們反而就解脫了,死心塌地跟著美國人搞全面封鎖。你慢慢擠,他們就得天天開會,天天算計,到底是斷供好還是傾銷好,是保利潤好還是保市場好。這張牌捏在手裡打不出去,比沒了還難受。”
“讓他們自己跟自己較勁。”周總工咂摸出味道來了。
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