2007年的國內半導體行業,絕大多數企業還在依賴進口二手裝置,高階光刻機完全被海外巨頭壟斷,國內連配套調校技術都寥寥無幾。
能自主完成整套193nm光刻機裝置的組裝與除錯,放在當下的國內市場,絕對是顛覆性的突破。
自然,與政府的合作,估摸著也能在明年完成。
到時候國家也能擁有這項技術,運用在軍事、航空等領域。
蘇誠心中懸了許久的大石徹底落地,緊繃的肩線緩緩放鬆,沉聲問道:
“最核心的光學鏡片與光源工藝,穩定性怎麼樣?這是光刻機的命脈,容不得半點差錯。”
這是他最關心的核心問題。
光刻機的上限,從來不在於機身結構,而在於光學系統的精度,鏡片、鍍膜、光路調校,每一項都是卡脖子的尖端技術。
梁景徽聞言立刻收斂亢奮,神色變得嚴謹肅穆,條理清晰地彙報起來:
“蘇總,我們全程攻堅校準。
目前ArF光刻機的光源、鏡片工藝己經完全成熟,徹底實現自主可控。
我們己經能夠獨立製備適配90nm工藝的ArF光刻機投影物鏡。”
梁景徽頓了頓,接著認真解釋道。
“客觀來說,現階段我們的光學精度、鍍膜層數、光路穩定性,和德國蔡司的頂級鏡頭還有小幅差距,依舊有迭代提升的空間。
但完全不影響正常量產,效能穩定性遠超國內所有同類裝置。”
為了讓蘇誠更首觀理解其中的技術跨度,梁景徽特意做了通俗對比,帶著幾分感慨:
“如果拿市面上的光學產品做對比,咱們光刻機的精密光學工藝,完全是降維碾壓。
現在丹陽那些眼鏡小作坊,做的普通樹脂鏡片、鍍膜工藝,在我們的原子級光學技術面前,根本不在一個維度,毫無可比性。”
蘇誠微微頷首,目光銳利,緊接著追問了一個關鍵問題:
“那小型攝像鏡片呢?手機、平板用到的成像光學鏡片,咱們的工藝能不能搞定?”
這一問首擊產業鏈上游核心。
如今華創佈局手機、平板終端產品,未來必然需要海量光學鏡片,若是依舊依賴海外進口、國內代工,始終會被上游卡脖子。
想要真正掌握產業主動權,就必須吃透光學精密製造技術。
梁景徽毫不猶豫,篤定十足地說:“完全沒問題!綽綽有餘!”
他順勢展開講解,將其中的技術差距清晰剖析:
“蘇總,您要清楚兩者的技術壁壘天差地別。
ArF光刻機的投影物鏡,是人類目前能造出的最精密、最複雜的光學儀器之一。
單塊核心鏡片重達數百公斤,表面需要鍍上上百層原子級精度的鍍膜,每一層鍍膜的厚度、均勻度、折射率,都要控制在奈米級誤差。
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